0200-06508 Керамички штитник одозгора 300 мм

Во напредните системи за обработка на полупроводници со плазма, компонентите за заштита на комората играат клучна улога во одржувањето на стабилноста на процесот, контролата на контаминацијата и животниот век на опремата. 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm е прецизно изработена керамичка компонента на комората дизајнирана за високо-перформансни плазма средини во производството на полупроводници.

Во Semixlab, ние обезбедуваме полупроводнички керамички компоненти со висока чистота, дизајнирани за тешки апликации со PECVD, плазма гравирање и депозиција, помагајќи им на фабриките да ја подобрат сигурноста на комората и конзистентноста на процесот на плочка.

Преглед на производот

Керамичкиот штитник е заштитна керамичка компонента инсталирана во горниот дел од процесните комори на полупроводници, обично во близина на зоните за генерирање плазма и дистрибуција на гас.

Неговата примарна функција е да го заштити телото на комората и внатрешните метални структури од директна изложеност на плазма, хемиска корозија и натрупување на талози за време на процесите на производство на полупроводници.

Керамичкиот штитник 0200-06508 од 300 mm е дизајниран за напредни системи за обработка на плочки од 300 mm каде што стабилноста на плазмата, ниското генерирање на честички и контролата на контаминација се од суштинско значење.

● Главни функции на керамички штитник

● Заштитете ги површините на коморите од ерозија на плазмата

● Намалување на контаминацијата со честички во внатрешноста на комората

● Одржувајте стабилни RF и плазма средини

● Подобрување на чистотата на комората и повторувањето на процесот

● Продолжување на интервалите за одржување на опремата и животниот век на компонентите

Бидејќи структурите на полупроводничките уреди продолжуваат да се намалуваат, компонентите за заштита на коморите, како што се керамичките штитови, стануваат сè поважни за подобрување на приносот и стабилноста на процесот.

Типични улоги во полупроводнички системи

Керамичкиот штитник AMAT 0200-06508 најчесто се користи во опремата за обработка на плазма со применети материјали (AMAT) за изработка на плочки од 300 mm.

Инсталирана во горната комора, оваа керамичка компонента делува како критичен заштитен дел свртен кон плазмата во средини со обработка на плазма со висока густина.

Клучните улоги вклучуваат:

1. Плазма заштита

Керамичкиот штит ја изолира структурата на комората од енергетско бомбардирање со плазма, помагајќи да се спречи:

● ерозија на ѕидот на комората

● метална контаминација

● површинско оштетување

2. Редукција на честички

Напредното производство на полупроводници бара средини со екстремно малку честички.

Керамичкиот штитник помага да се минимизира:

● распрскување на материјал

● лупење

● плазма-индуциран отпад

3. RF и плазма стабилност

Поради своите стабилни диелектрични својства, керамичкиот штит придонесува за:

● стабилна густина на плазмата

● конзистентно RF однесување

● подобрена униформност на процесот

4. Продолжување на животниот век на комората

Со заштита на критичните структури на комори од директен напад со плазма, керамичкиот штит помага во намалување на абењето на комората и фреквенцијата на одржување, подобрувајќи го времето на работа на опремата и оперативната ефикасност.

Како заклучок, керамичкиот штит 0200-06508 300mm е компонента за заштита на комората од алуминиум-керамика со висока чистота, дизајнирана да ја подобри стабилноста на плазмата, да ја намали контаминацијата и да ја зголеми сигурноста на процесот во напредните системи за производство на полупроводници.

Зошто да го изберете Семикслаб?

Семикслаб е специјализиран за високо-перформансни полупроводнички керамички компоненти за обработка на плазма и напредни средини за производство на плочки.

Ние обезбедуваме:

● Компоненти на керамички комори со висока чистота

● Прецизни полупроводнички резервни делови

● Керамички решенија отпорни на плазма по мерка

● Сигурна поддршка за полупроводнички OEM и фабрички апликации

Нашите производи се конструирани да ги задоволат строгите барања на современите процеси на производство на полупроводници. Искрено се надеваме дека ќе станеме ваш долгорочен партнер во Кина.