Кварцен диск за полупроводнички процес

Полупроводничката индустрија бара компоненти со исклучителна чистота и прецизност. Кварцните дискови се камен-темелник во оваа област, играјќи клучна улога во разни процеси на производство на полупроводници со високи температури и хемиски барања. Кварцниот диск Semixlab за полупроводнички процес е изработен од синтетички фузиран силициум диоксид со висока чистота (SiO2) за да обезбеди исклучителна термичка стабилност, хемиска отпорност и ултра ниска контаминација. Овие полупроводнички кварцни дискови се користат за CVD таложење на тенок филм, ALD, PVD распрскување, дифузија/жарење, RTP, поддршка за плазма јоргање (RIE/ICP).

Својства и карактеристики на материјалот

Нашите полупроводнички кварцни дискови се изработени од високочисто стопен кварц, материјал познат по своите исклучителни својства. Клучните карактеристики на нашите кварцни дискови вклучуваат:

● Висока чистота: Содржејќи минимални нечистотии, нашите кварцни дискови спречуваат контаминација на чувствителни полупроводнички плочки, што е од суштинско значење за одржување на интегритетот и продуктивноста на уредот.

● Одлична термичка стабилност: Со низок коефициент на термичка експанзија, кварцните дискови можат да издржат екстремни температурни флуктуации без пукање или искривување. Ова ги прави идеални за процеси на висока температура како што се жарење, дифузија и оксидација.

● Хемиска инертност: Кварцот е многу отпорен на повеќето киселини и хемикалии што се користат во обработката на полупроводници, вклучувајќи флуороводородна киселина (HF) и сулфурна киселина (H2SO4). Оваа хемиска инертност обезбедува стабилна и нереактивна средина за плочките.

● Висока транспарентност: Фузираниот кварц има висока транспарентност на ултравиолетова (UV) светлина, што е клучно за фотолитографијата и другите оптички процеси.

Нашите кварцни дискови се достапни во различни големини и дебелини, со типични параметри, вклучувајќи:

● Чистота: >99.995%

● Коефициент на термичка експанзија: ~0.54 x 10−6/°C (на 20-300°C)

● Точка на омекнување: ~1600°C

● Достапни дијаметри: до 300 mm

Примени во полупроводничкото производство

Кварцните дискови со висока чистота се неопходни во неколку клучни полупроводнички процеси. Нивните специфични примени вклучуваат:

● CVD (хемиско таложење со пареа): Кварцните дискови се користат како сусцепторни плочи или облоги во CVD реакторите. Нивната термичка стабилност и хемиска инертност обезбедуваат рамномерно загревање и средина без контаминација за процесите на таложење на тенок филм.

● PVD (физичко таложење на пареа): Во PVD процесите како што е распрскување, кварцните дискови служат како подлоги за целта или држачи за подлогата. Тие можат да ја издржат високата кинетичка енергија на процесот на таложење, а воедно да ја одржат димензионалната стабилност.

● Оксидација и дифузија: Како облога за печки или како компонента на плотни, кварцните дискови се составен дел од процесите на оксидација и дифузија на висока температура. Тие спречуваат контаминација на метал од ѕидовите на печката да стигне до силициумските плочки.

● Греење: Кварцните дискови обезбедуваат чиста и стабилна површина за термичко жарење, процес што се користи за поправка на оштетување на кристалната решетка и активирање на допанти во полупроводнички уреди.

Semixlab Advantage: Вашиот партнер во изработка на полупроводници

Во Semixlab, ние сме повеќе од само производител на полупроводнички кварцни дискови. Ние сме партнер посветен на вашиот успех, нудејќи пакет услуги дизајнирани да го поедностават вашето работење и да ја зголемат ефикасноста на вашите процеси.

● Прилагодување: Разбираме дека секој процес на изработка е уникатен. Нашиот тим може да изработи кварцни дискови по нарачка, прилагодени на вашите специфични барања за димензии, чистота или примена.

● Технички консултации: Нашите технички експерти обезбедуваат длабински консултации за да ви помогнат да го изберете идеалниот кварцен производ за вашиот специфичен процес, обезбедувајќи оптимални перформанси и долготрајност.

● Брза услуга за прототипирање и примероци: Нудиме брзи времиња на изработка на прототипови и примероци, што ви овозможува брзо и ефикасно да ги тестирате и валидирате нашите производи. Ова ги забрзува вашите циклуси на истражување и развој и го намалува времето до пласирање на пазарот.

За процесните инженери и купувачи кои бараат сигурни носечки плочи, изолациски штитови и оптички потпори, Semixlab обезбедува кварцни дискови со цврста толеранција и ниски дефекти кои го подобруваат приносот и го продолжуваат времето на работа на алатот. Искрено се радуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.