EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Високочистота кварцна дифузна печка цевка
| Место на потекло: | Кина |
| Бренд име: | Семикслаб |
| Број на моделот: | Qwb-2025 |
| Потврдување: | ISO9001 |
| Минимална Подреди Кол: | 10 |
| цена: | Контакт за прилагодена понуда |
| Пакување Детали за: | Антистатичка пена + дрвени гајби (може да се прилагодат) |
| Време на испорака: | Време на испорака: 20-35 дена по потврдата на нарачката |
| Начин на плаќање: | T / T |
| Набавка Способност: | 1000 единици/месец |
Опис
Цевката за печка за дифузија со висока чистота на кварц е специјално дизајнирана за процес на дифузија на висока температура во производството на полупроводнички плочки. Произведена е со синтетички кварцен песок со ултра висока чистота (SiO2).2чистота ≥99.999%). Ги исполнува строгите барања за чистота, термичка стабилност и хемиска инертност на напредните процеси под 7nm. Производите се добиваат преку процес на лачно топење и технологија на прецизна обработка, за да се обезбеди стабилност на структурата во средина со висока температура од 1200℃, широко се користат во допирање со фосфор/бор, раст на оксиди и други клучни процеси.
Основни материјали и карактеристики
Ултра високочист материјал
Чистота на SiO₂: ≥99.999% (5N степен), вкупна нечистотија ≤2ppm (во согласност со стандардот SEMI F63).
Контрола на клучни нечистотии: Li+Na+K≤0.5ppm, Fe≤0.1ppm, Al≤0.3ppm, B≤0.05ppm (избегнувајте мешање во допингот).
Содржина на хидроксил: ≤1ppm (по третман со дехидроксилација за да се спречат дефекти на плочките предизвикани од еволуција на водород на висока температура).
Оптимизација на термички перформанси
Коефициент на термичка експанзија: 5.5×10-7K-1(20-1000 °C), избегнувајќи пукање од деформација предизвикано од ненадејни промени на температурата.
Точка на омекнување: 1680℃, долгорочна работна температура ≤1250℃ (поддршка за брз пораст и процес на ладење).
Отпорност на термички шок: издржи 1200℃ → циклус на гаснење на собна температура ≥200 пати (ASTM C338 стандардна верификација).
Хемиска инертност и чистота
Отпорност на корозија: отпорна на HF, HCl, HNO₃ и други силни киселини (стапка на губење на тежина ≤0.005mg/cm²·h).
Чистота на површината: Ra≤0.1μm (CMP полирање), честички ≤5/m2 (@0.1μm, во согласност со ISO Класа 1).
Контрола на загадување со метали: површински метален остаток ≤0.1ppb (ICP-MS детекција).
Брза детали:
1. Други имиња: Кварцна реакциона цевка, цевка за печка со висока температура.
2. Примена: Процес на дифузија на вафли.
3. Основни параметри: Чистота ≥99.995%, отпорност на температура 1600℃, внатрешен дијаметар 20-300mm.
спецификации
| Параметар | индекс |
| Чистота на материјалот | ≥99.995% SiO₂ |
| Максимална работна температура | 1600℃ (континуирано работење) |
| Отпорност на топлински шок | ΔT = 1000 ℃ воденото ладење не се прекинува |
| Опсег на внатрешен дијаметар | 20-300 mm (толеранција ±0.5 mm) |
| Должина прилагодена | 500-3000mm |
апликации
Допинг со дифузија на висока температура.
Дифузија на фосфор/бор во цврста состојба (1000-1200℃).
Процес на брзо термичко жарење (RTA) (стапка на кревање/ладење ≥100℃/s).
конкурентна предност
Ултра висока чистота и отпорност на кристализација, го продолжуваат животниот век на цевката на печката.
Поддржува дизајн на комплексна структура, прилагодување кон разновидните барања на процесот.
Строга контрола на толеранција на димензии (±0.5 mm).
