Производствени проблеми со електростатска стега

Апстракт: Електростатските стеги користат електростатска сила за да држат плочки на нивната површина и главно се користат во вакуумски процеси како што е плазматско јоргање. Накратко ќе ги опишеме тешкотиите во процесот на производство од перспектива на избор на суровини, разни процеси на синтерување, контрола на температурата итн.

Ⅰ. Што е електростатска стега?

Електростатското чак е алатка за стегање за пренос и транспорт на плочки. Тоа е уред кој го користи принципот на електростатска адсорпција за да адсорбира плочки што треба да се обработуваат на неговата површина и може да ја контролира температурата на површината на плочките со обратно дување на гасот.

Ⅱ. Карактеристики на производот на електростатска чатка

Електростатското стегање избегнува непоправлива штета на плочките предизвикана од притисок, судир и други механички причини за време на употребата на традиционалните механички стеги, ја намалува контаминацијата на честичките, ја зголемува ефективната површина за обработка на плочките, ги надминува дефектите на вакуумот. парчиња што не може да се користи во средини со низок притисок и обезбедува термичка униформност на површината на плочките. Основните карактеристики на електростатската стега вклучуваат висока прецизност на адсорпција, одлична контрола на температурата, отпорност на плазма, брз одговор, висока сигурност, така што ја замени традиционалната механичка стега и вакуум стега за да стане полупроводничка опрема е многу важна во деловите за општа намена.

Ⅲ. Технички индикатори:

3.1 ESC тип

3.2 Услови за работа

3.3 Перформанси на ESC

Ⅳ. Тешкотии во производството на електростатска стега

1. Избор на суровина: Електростатски парчиња имаат многу високи барања за употребените материјали. На пример, керамичките материјали треба да имаат висока чистота, одлични изолациски својства и цврстина за да одржат стабилни перформанси во сурови средини како што се високи температури и силни корозивни средини. Електродните материјали, од друга страна, имаат потреба од добра електрична спроводливост за да обезбедат ефикасна распределба на електричното поле и доволна адсорпција.

✔ Материјал за слој на подлогата: генерално слојот на подлогата избира керамички материјал како материјал за производство, обично избира алумина или алуминиум нитрид. Алуминиум нитридната керамика е нов вид материјал генерално фаворизиран од индустријата, има само одлични сеопфатни механички својства, во исто време има многу висока топлинска спроводливост, па затоа висококвалитетните електростатски стегачи избираат алуминиум нитрид како основен слој. Во моментов, и трошоците и техничките тешкотии, подготовката на прав од алуминиум нитрид со висока чистота е многу поголема од алуминиумот.

✔ Материјали за слој на електрода: материјали за слој на електрода, спроводлива сребрена паста поради одличната спроводливост на собна температура, цврстина, адхезија и отпорност на свиткување е почесто користена.

✔ Материјали на адсорпцискиот слој: адсорпцискиот слој е најважниот функционален структурен слој во електростатската стега, изборот на материјали има големо влијание врз неговата функционалност, според анализата на принципот на електростатската стега, отпорноста на телото на материјалот на адсорпцискиот слој треба да се контролира на 108 ~ 109Ω-cm за да се задоволат функционалните барања.

Во исто време, адсорпцискиот слој треба да ги задоволи високите барања за топлинска спроводливост, висока отпорност на абење, добри електрични својства и коефициент на термичка експанзија што одговара на силиконскиот чип. Затоа, главниот материјал на адсорпцискиот слој е алуминиум нитридна керамика, и преку допирање на отпорникот, неговата отпорност се зголемува за да се задоволат функционалните барања.

2. Синтерување: По одредување на целокупната структура на трослојната електростатска керамика од алуминиум нитридчак, постојат два различни методи на производство.

✔Интегрално синтерување: Интегрално синтерување на електростатската стега, каде што трите слоја се синтеруваат заедно. Предноста е што може да ги намали чекорите на процесот и да ја направи трослојната структура побезбедна; но недостатокот е што процесот на синтерување е тешко да се подобри, бидејќи трите слоја се синтерувани со употреба на различни материјали, условите на процесот на синтерување се многу различни, ако сакате да синтерувате истовремено, постои многу висок степен на тежина.

✔Слоено синтерување: Слоено синтерување на електростатски стеги, по што слоевите се капсулираат и поврзуваат за да се обезбеди функционалноста на секој слој. Предноста е што секој слој се обработува одделно, така што условите за обработка на секој слој не се ограничени од другите слоеви, може да се обезбеди квалитетот на обработката на секој слој, но недостатокот лежи во зголемувањето на бројот на чекори во процесот, потребата да се обработи секој слој по зголемувањето на процесот на капсулирање и поврзување и да се осигура дека поврзувањето не влијае на перформансите на секој слој.

3. Контрола на температурата: контролата на температурата на полупроводничкиот процес на плочката е клучна. Керамичките електростатски стеги треба прецизно да ја контролираат температурата на плочката со загревање или ладење. Ова бара електростатски стеги со ефикасни можности за контрола на температурата, вклучувајќи технологија за зонирана контрола на температурата за да се задоволат температурните барања на различните сегменти на процесот.

Керамичка електростатска стега главно преку гасот што се враќа назад и внатрешниот воден пат за ладење за контрола на температурата на плочката, со прилагодување на притисокот на гасот што се враќа назад може да се подобри ефикасноста на дисипација на топлината на плочката и со тоа ефикасно да се намали температурата на плочката, додека притисокот на гасот што се враќа назад ќе доведе до зголемување на плочката, што резултира со тоа што процесот не може да се спроведе, во овој момент е потребно електростатско чак Користењето на механизмот за електростатска адсорпција ќе биде фиксирано на површината на плочката, па затоа големината на електростатската сила на адсорпција. Затоа, големината на електростатската сила индиректно влијае на контролата на температурата на плочката.

Големината на електростатската адсорпциска сила треба да се контролира во одреден опсег, премалата ќе доведе до слаба адсорпција на плочката, која лесно ќе се разнесе од задниот гас, а преголемата ќе доведе до деформација на плочката, уништувајќи ја структурата на плочката, а во исто време влијаејќи на десорпцијата.