Високочистотини изостатски графитни заптивни прстени

Изостатичките графитни заптивни прстени со висока чистота од Semixlab се произведени од изостатски пресуван графит со ултра висока чистота, овие заптивни прстени обезбедуваат стабилни перформанси на заптивање со ниска контаминација што директно ја поддржува сигурноста на процесот, конзистентноста на приносот и времето на работа на опремата во напредните процеси на производство на плочки од предниот дел.

Во епитаксиските системи, каде што е од суштинско значење прецизната контрола на протокот на гас, стабилноста на притисокот и термичката униформност, високочистите изостатични графитни заптивни прстени на Semixlab играат клучна улога во одржувањето на интегритетот на реакторот на одржливи температури често над 1000 °C. Инсталирани на интерфејсите на комори, границите на заптивањето и ротирачките или стационарните споеви во топлата зона, овие заптивни прстени покажуваат ниска и изотропна термичка експанзија, што им овозможува да одржуваат димензионална стабилност за време на повторени термички циклуси. Нивната исклучително ниска содржина на метални нечистотии го минимизира ризикот од ненамерно вградување на допант или контаминација на метал, помагајќи да се обезбеди униформна дебелина на епитаксијалниот слој, контролирани профили на допирање и висококвалитетен кристален раст во процесите на епитаксија и на силициум и на сложени полупроводници.

Во апликациите за CVD, LPCVD и PECVD, компонентите за запечатување се изложени на комбинација од висока температура, вакуум, корозивни прекурсорни гасови, а во некои случаи и плазма средини. Високочистите изостатични графитни заптивни прстени на Semixlab се широко користени во заптивки на врати на комори, структури за изолација на гас и преодни зони помеѓу топли и ладни региони на реакторот. Внатрешната хемиска отпорност на графитот со висока чистота овозможува стабилно работење во присуство на агресивни процесни гасови како што се HCl, NH₃ и прекурсори на база на халогени, додека густата, изотропна микроструктура го намалува создавањето на честички и механичката деградација во текот на продолжениот работен век. Во споредба со металните раствори за запечатување, графитните заптивни прстени нудат супериорна отпорност на корозија и термички замор, придонесувајќи за подолги интервали за одржување и подобрена повторување на процесот во производството со голем обем.

Високотемпературната дифузија, оксидацијата и брзата термичка обработка поставуваат строги барања за перформансите на запечатување поради екстремни температури, брзи стапки на термичка рампа и чести циклуси на процеси. Во овие средини, високочистите изостатични графитни заптивни прстени на Semixlab одржуваат конзистентен интегритет на запечатување на температури над 1100 °C, поддржувајќи стабилна атмосферска контрола во рамките на цевките на печката и RTP коморите. Униформните механички својства обезбедени со изостатско притискање помагаат да се спречи локализирана концентрација на стрес, микропукнатини и дисторзија на запечатувањето за време на брзо загревање и ладење, со што придонесуваат за стабилни профили на дифузија на допант, униформен раст на оксид и повторувачки резултати од термичкиот процес кои се критични за производство на напредна логика и мемориски уреди.

Во процесот на јодирање, вклучувајќи ги и апликациите за суво јодирање кои користат хемикалии базирани на халогени и средини потпомогнати од плазма, потребни се заптивни прстени за одржување на интегритетот на вакуумот, а воедно ограничување на генерирањето на честички и хемиската деградација. Високочистотите изостатични графитни заптивни прстени на Semixlab обично се поставуваат во зони кои не се директно изложени на плазма, како што се периферните заптивни интерфејси на комората и регионите на структурна изолација. Кога се комбинираат со соодветна површинска густина или заштитни премази, овие заптивни прстени обезбедуваат сигурна отпорност на корозивни гасови за јодирање и термички стрес, поддржувајќи стабилни услови во комората и намалувајќи го ризикот од губење на приносот поврзан со контаминација.

Конструирани со фокус на чистотата на материјалот, структурната стабилност и долгорочната сигурност, компатибилноста на прстените за заптивање со изостатичен графит со висока чистота на Semixlab со напредните технологии за обложување и интеграцијата во сложени архитектури на полупроводничка опрема ги прави доверливо решение и за врвни и за зрели процесни јазли. Со обезбедување конзистентни перформанси на заптивање под најсложените процесни услови, Semixlab ги поддржува производителите на полупроводници во постигнување поголем принос, подобрено искористување на опремата и пониски вкупни трошоци за сопственост. Искрено се надеваме дека ќе станеме ваш долгорочен партнер во Кина.