Цврст графитен филц

Цврстиот графитен филц (RGF) од Semixlab е конструиран како критична компонента за изолација на висока температура и управување со топлината за раст на монокристалите од SiC преку физички транспорт на пареа (PVT). Дизајниран за употреба во производство на плочки од 4H- и 6H-SiC од следната генерација, овој цврст филц комбинира ултра ниска топлинска спроводливост, висок структурен интегритет и исклучителна хемиска чистота, што го прави камен-темелник во високо-перформансните печки за сублимација на SiC. Неговата примена обезбедува прецизна контрола на термичките градиенти, стабилни услови на раст и подобрен квалитет на кристалите низ долгите производствени циклуси.

Во SiC PVT процесот, одржувањето на конзистентно и униформно термичко поле е од клучно значење за постигнување на монокристали без дефекти. Графитниот тврд филц служи како примарна изолација на печката, опкружувајќи го садот за сублимација и структурите на термичкото поле. Неговата ниска топлинска спроводливост ги намалува несаканите загуби на топлина, одржувајќи го целниот температурен градиент помеѓу изворот на SiC и почетниот кристал. Со контролирање на радијалните и аксијалните температурни профили, RGF го минимизира формирањето на дислокации во базалната рамнина, грешки во редењето и микроцевки, директно влијаејќи на структурниот интегритет и електронските перформанси на добиените SiC плочки.

Покрај своите можности за топлинска изолација, цврстата структура на графитниот филц на Semixlab обезбедува механичка стабилност во средини со висока температура што надминува 2000°C. За разлика од флексибилните или меките филцови, RGF ја одржува својата форма под продолжен термички циклус, спречувајќи колапс или деформација што може да го наруши термичкото поле или да го компромитира животниот век на печката. Неговата хемиска инертност обезбедува минимално ослободување на честички и избегнува контаминација на SiC болусот, што е клучно за производство на подлоги со висок отпор за енергетска електроника и апликации за уреди со широк енергетски јаз.

Произведен со употреба на графитен јаглерод со висока чистота и напредни техники на згуснување, графитниот тврд филц Semixlab покажува униформна густина, одлична димензионална стабилност и долгорочна издржливост. Неговата комбинација од термички перформанси и механичка цврстина им овозможува на полупроводничките фабрики да постигнат конзистентни стапки на раст, репродуктивни температурни профили и намалено време на застој во PVT системите. Со оптимизирање на термичката ефикасност на печката, RGF исто така придонесува за заштеда на енергија, а воедно ја подобрува униформноста и приносот на плочките.

Цврстиот графитен филц од Semixlab нуди перформанси, чистота и структурна стабилност потребни за поддршка на висококвалитетен раст на SiC монокристали, обезбедувајќи им на производителите робусно материјално решение за производство на плочки од следната генерација, продолжен век на траење на печката и супериорно термичко управување во екстремно високи температури.