LED епи-сусцептор со TaC облога

LED епитаксијалниот сусцептор со TaC облога користи технологија за обложување со висока чистота од тантал карбид (TaC), која е специјално дизајнирана за опрема MOCVD (депозиција на метални органски хемиски пареа) и е погодна за процес на високотемпературно депонирање на LED епитаксијални плочки. Производот има одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија и термичка стабилност, што може значително да го намали загадувањето и исфрлањето на честички, како и да го продолжи работниот век. Тој е идеален избор за подобрување на приносот на LED епитаксијалните плочки и ефикасноста на производството.

Апликација:

LED epi сусцепторот со TaC облога е специјално дизајниран за MOCVD опрема и главно се користи во производство на LED епитаксијални плочки, особено за епитаксијален раст на сини и ултравиолетови LED диоди базирани на галиум нитрид (GaN). Исто така, може да ги задоволи производствените потреби на SiC/GaN полупроводнички уреди за напојување и е погоден за експерименти за CVD, MBE и други експерименти за таложење на материјали на висока температура во научно-истражувачки институти.

Услуги што можат да се обезбедат:

анализа на сценарија за апликација на клиент, спојување на материјали, решавање на технички проблеми.

Профил на компанијата:

Семикслаб има 2 лаборатории, тим од експерти со 20 години искуство со материјали, со можности за истражување и развој и производство, тестирање и верификација.

Технички параметри

Главни полиња за апликација

Потврда за верификација на еколошкиот синџир

Верификацијата на еколошкиот синџир на LED epi susceptor со TaC облога од Semixlab ги опфаќа суровините до производството, има положено меѓународна стандардна сертификација и има голем број патентирани технологии за да се обезбеди неговата сигурност и одржливост во полупроводничките и новите енергетски полиња.

Типичен процес на аплицирање

Подготовка на суровина (инспекциски преглед на графит со висока чистота) → Изработка на подлога (изостатично пресување) → Процес на TaC премачкување (CVD таложење) → Пост-обработка (прецизно полирање) → Инспекција на квалитет → Пакување и испорака

Како што LED технологијата се развива кон помали димензии и поголема прецизност, како што се Mini LED и Micro LED, барањата за стабилност и контрола на процесот на MOCVD опремата стануваат сè поголеми. Промоцијата на TaC обложени LED EPI сусцептори не само што може да ја подобри ефикасноста на постојното производство на LED диоди, туку и да обезбеди посигурна производствена основа за следната генерација на технологија за прикажување.

За детални технички спецификации, бели книги или аранжмани за тестирање на примероци, ве молиме контактирајте го нашиот тим за техничка поддршка за да истражите како Semixlab може да ја подобри ефикасноста на вашиот процес.

Предности на јадрото на LED епи-сусцепторот со TaC облога од Semixlab

Супер отпорност на високи температури

LED епитаксијалните сусцептори со TaC-облога се изработени од материјал од тантал карбид со висока чистота, кој може стабилно да работи долго време во средини со висока температура над 1200°C. Дури и под екстремни температурни услови на MOCVD процесот, облогата нема да пукне или да се излупи, обезбедувајќи униформност и конзистентност на процесот на епитаксијален раст и ефикасно подобрувајќи го приносот на производот.

Одлична отпорност на корозија

За време на процесот на производство на LED епитаксијални плочки, сусцепторот треба да биде изложен на корозивни гасни средини како што се H2 и NH3 подолго време. TaC облогата има исклучително силна хемиска инертност и може ефикасно да се спротивстави на ерозијата на гасот и да ги избегне нечистотиите генерирани од оксидација или реакција, со што се обезбедува чистотата и оптоелектронските перформанси на епитаксијалната плочка.

Ниска термичка деформација

Коефициентот на термичка експанзија на TaC премазот е во голема мера усогласен со оној на графитната подлога, а сусцепторот може да одржува екстремно ниска стапка на термичка деформација дури и за време на брзо зголемување и опаѓање на температурата. Оваа карактеристика може значително да го намали ризикот од искривување на епитаксијалната плочка, да обезбеди рамномерен раст на епитаксијалниот слој и да ја подобри конзистентноста на производот.

Висока завршна површина

Површината на сусцепторот е прецизно полирана, со контролирана грубост под 0.5 μm, со што ефикасно се намалува стапката на дефекти за време на епитаксијалниот раст. Мазната површина може да ја намали и адхезијата помеѓу епитаксијалната плочка и сусцепторот, олеснувајќи го отстранувањето на плочката и намалувајќи го ризикот од кршење на плочката.

Долг живот дизајн

Во споредба со традиционалните графитни сусцептори, TaC премазот има подобра отпорност на абење и корозија, а неговиот век на траење може да се зголеми за повеќе од 3 пати. Ова не само што ја намалува фреквенцијата на замена на потрошниот материјал, туку и ги намалува флуктуациите во процесот предизвикани од стареењето на сусцепторот, што може значително да ги намали трошоците за производство на долг рок.