Графит грејач обложен со TaC

Зошто да го изберете Семикслаб?

Семикслаб може да обезбеди графитни грејачи со TaC облога во прилагодени големини и спецификации врз основа на специфичните модели на опрема на клиентите и барањата на процесот. Ве молиме контактирајте не за детален список на технички параметри, вклучувајќи, но не ограничувајќи се на:

- Димензионални толеранции

- Максимална работна температура

- Податоци за физички својства како што е топлинска спроводливост

- Степен и чистота на графит

- Опсег на дебелина на TaC облогата и критериуми за униформност

Поважно е што грејните елементи на Semixlab се направени од графитна подлога со висока чистота обложена со премаз од TaC (тантал карбид) со висока густина, што обезбедува комбинација од одлична топлинска спроводливост и ова комбинира одлична топлинска спроводливост со стабилност на висока температура. Користиме графитни материјали од трите најдобри светски добавувачи, а нашите долгорочни стабилни партнери вклучуваат SGL (Германија), Toyo Tanso (Јапонија) и Mersen (Франција), за да се осигураме дека нашите производи имаат одлична гаранција за квалитет од изворот. Во исто време, процесот на премачкување со TaC на Semixlab е на водечко ниво во индустријата, со неговата густина, адхезија и отпорност на корозија кои се потврдени преку многу рунди на валидација на процесот и е широко користен во врвна SiC епитаксијална опрема, на која клиентите веруваат многу.

Основна примена: Критична база за греење во опрема за SiC епитаксија

Графитните грејачи на Semixlab со TaC-облога играат клучна улога во опремата за SiC епитаксија. Нивната главна функција е да дејствуваат како основа за системот за греење, носејќи го и рамномерно загревајќи го вафлер сусцепторот поставен над него.

Структурни нивоа: Во типична SiC епитаксијална комора, структурата обично е како што следува:

1. Графитен грејач со TaC-облога (производ на Semixlab): Сместен на долното ниво, тој е главен извор на топлина.

2. Подлога за плочки: Поставена на врвот од грејачот, подлогата за плочки обично е изработена од графит со висока чистота или друг материјал отпорен на високи температури и може да биде обложена. Неговите прецизно дизајнирани жлебови се користат за држење на SiC плочки.

3. SiC плотни (плотни): Поставени на носечки диск, тие се подлога за конечниот раст на епитаксијалниот слој.

Процес на загревање и предизвици:

1. Потребни услови за висока температура: Епитаксијалниот раст на SiC обично бара екстремно високи температури (обично над 1500∘C или повисоки) за да се обезбеди ефикасно распаѓање на прекурсорниот гас и формирање на висококвалитетни, монокристални слоеви на SiC на површината на плочките. Грејачите на Semixlab се базираат на подлога од графит со висока чистота и висока топлинска спроводливост за да се обезбеди брзо и униформно достигнување и одржување на потребните високи температури. Грејачот на Semixlab користи графит со висока чистота со висока топлинска спроводливост како подлога за да се обезбеди брзо и униформно достигнување и одржување на потребната висока температура.

2. Еднообразноста е критична: Униформноста на температурата на површината на грејачот директно влијае на распределбата на температурата на дискот-носач, што пак ја одредува конзистентноста на стапката на раст, дебелината на епитаксијалниот слој и концентрацијата на допинг во секоја точка на плочката. Секој температурен градиент може да доведе до зголемени дефекти во епитаксијалниот слој и поголема варијација во перформансите на уредот, а Semixlab ја оптимизира распределбата на термичкото поле на грејачот за да се минимизира варијацијата на температурата преку софистициран процес на дизајнирање и производство.

3. Предизвици за хемиска стабилност: Екстремно корозивни гасови (на пр. силан, пропан, водород и допантни гасови) се пренесуваат низ епитаксијалниот процес. На високи температури, овие гасови се многу агресивни кон обичниот графит, предизвикувајќи предвремено оштетување на графитните компоненти и ослободувајќи честички од јаглерод кои ја контаминираат реакционата комора и плочките, сериозно влијаејќи врз квалитетот на епитаксијалниот слој и приносот на уредот.

Решение за премачкување со TaC од Semixlab и придобивки:

Како одговор на овие предизвици, Семикслаб користи напредна технологија за обложување со тантал карбид (TaC). TaC облогата им дава на графитните грејачи супериорни перформанси:

1. Намалено генерирање на честички и подобрен принос: Со ефикасно спречување на ерозијата и кредањето на графитната подлога, TaC премачкувањето го намалува изворот на честички од процесната комора на изворот. Со ефикасно спречување на ерозијата и пулверизацијата на графитната подлога, TaC премачкувањето го намалува изворот на честички во процесната комора од изворот, што е клучно за производство на висококвалитетни SiC епитаксијални плочки со ниска густина на дефекти и директно придонесува за приносот на конечниот уред.

2. Одлична хемиска инертност и отпорност на корозија: Исклучително високата хемиска стабилност на TaC премазот и нискиот притисок на пареа ја штитат графитната подлога од реакција со процесни гасови на високи температури и во корозивни атмосфери. Ова значително ја намалува контаминацијата на честичките поради ерозија од грејачот, ја обезбедува чистотата на епитаксијалната средина за раст и го подобрува квалитетот на епитаксијалниот слој и сигурноста на уредот.

3. Стабилност на процесот и повторливост: Стабилен, долготраен грејач е основа за стабилност и повторување на процесот меѓу сериите (серија до серија) и во рамките на серијата (во рамките на серијата), што го обезбедуваат графитните грејачи со TaC облога на Semixlab, правејќи го вашиот SiC епитаксијален процес посигурен и контролиран.

4. Продолжен век на траење и намалени оперативни трошоци: Густината и силната адхезија на TaC премазот значително ја зголемуваат издржливоста на графитниот грејач, продолжувајќи го неговиот работен век под тешки услови на работа. Ова значи помалку застој за одржување и поретка замена на резервни делови, што ефикасно ги намалува вкупните трошоци за сопственост на клиентот.

5. Одржување на одлична топлинска спроводливост: Внимателно оптимизираниот процес на обложување со TaC обезбедува одлична заштита, а воедно задржува што е можно повеќе од одличната топлинска спроводливост на графитната подлога со висока чистота, осигурувајќи дека топлината ефикасно и рамномерно се пренесува на послужавникот за носачи на плочки и на плочките погоре за прецизна контрола на температурата.