EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Графит грејач обложен со SiC за MOCVD
Грејачот Semixlab со SiC обложен графитен MOCVD е високо-перформансен загреан носач дизајниран за процеси на производство на полупроводници кој користи хемиско таложење на пареа (CVD) за да формира униформен, густ силициум карбиден (SiC) слој на површината на графитна подлога со ултра висока чистота.
Опис
производи Детали
Грејачот MOCVD со графитна обвивка од SiC ја комбинира одличната топлинска спроводливост на графитот со високата температура и отпорноста на корозија на SiC премазите и е широко користен во опремата за таложење на метално-органска хемиска пареа (MOCVD) за да се обезбеди стабилност и висока чистота во процесите на раст на епитаксија на плочката.
Карактеристики на производот за грејач со SiC обложен графит MOCVD
1. Ултра висока чистота и хемиска стабилност
Чистота ≥99.99995%: Нашиот графитен грејач е подготвен со хлорирање на висока температура преку CVD процес, што ефикасно го избегнува загадувањето со метални нечистотии и ги задоволува барањата за ултрачисти средини во производството на полупроводници.
Антихемиска корозија: Густата и висока тврдост на SiC премазот (Викерсова тврдост од 2500-2800) може да се спротивстави на ерозијата на киселини, алкалии, соли и органски растворувачи, што го продолжува работниот век на опремата во корозивна гасна средина.
2. Одлична отпорност на високи температури
Стабилност на висока температура: може да издржи до 3000°C во инертна атмосфера, стабилно работење до 2200°C во вакуумска средина и 1600-1700°C во оксидирачка средина, што е погодно за екстремни услови на реакционата комора MOCVD.
Низок коефициент на термичка експанзија (4.5 x 10-⁶K-¹): Оваа карактеристика на графитниот грејач MOCVD ефикасно го намалува пукањето или лупењето на облогата поради промени во температурата, обезбедувајќи структурен интегритет при долгорочно термичко циклирање.
3. Оптимизирани перформанси за термичко управување
Висока топлинска спроводливост (200-300 W/mK): Високата топлинска спроводливост на графитниот MOCVD грејач одредува дека производот може брзо и рамномерно да ја пренесе топлината за да постигне конзистентна распределба на температурата на површината на плочката (±1°C), со што ефикасно се подобрува униформноста на епитаксијалниот слој.
Дизајн на поле со ламинарен проток на гас: По континуирана итерација и надградба на технологијата, мазноста на површината на нашиот MOCVD грејач (Ra ≤ 0.8μm) и оптимизацијата на геометријата обезбедуваат рамномерна распределба на реактивните гасови и ја намалува нерамномерноста на таложењето предизвикана од турбуленција.
спецификации
Споредба на технички параметри и предности
| карактеристики | Грејачи со облога од SiC од Semixlab | Конвенционални графитни грејачи |
| Максимална работна температура (инертна) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Хемиска чистота | ≥ 99.99995% | ≤99.99 |
| Термичка спроводливост | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Адхезија на облогата | 415 MPa (свиткување во 4 точки) | 100-200 MPa |
| Типичен животен циклус (циклуси) | > 500 циклуси | Циклуси 100-200 година |
конкурентна предност
Зошто Семикслаб?
Прилагодување: Semixlab е посветен на обезбедување производи и технички услуги по мерка за нашите клиенти. Поддржуваме прилагодување на нестандардни големини (до дијаметар од 360 mm) и дебелини на облогата (20-500 μm) за да се задоволат широк спектар на потреби за опрема.
Глобална сертификација: Нашиот графитен грејач со SiC облога е полуусогласен, сертифициран според ISO 9001, а нашите производи главно се извезуваат во Европа и САД, како и во Јапонија и Јужна Кореја, со значителна предност во односот цена/перформанси.
Техничка синергија: Semixlab долго време одржува тесна соработка со врвни истражувачки институции во Кина, користејќи патентирани технологии за премачкување (како што е процесот SiC³ на CGT Carbon) за оптимизирање на густината на премачкувањето и отпорноста на термички шок.
