CVD облога од силикон карбид (SiC).

CVD SiC премазот е во основа слој од силициум карбид нанесен на графит и е широко користен во алатки за епитаксија каде што се важни и температурата и чистотата. Во реалните производствени линии, често ќе го видите во системи од AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, како и некои платформи поврзани со AMAT. Она што го прави корисен не е само отпорноста на температурата, туку и целокупната стабилност при долги работи. Под типични услови на епитаксија - водород, амонијак или дури и хлорирани гасови - премазот останува релативно стабилен и го штити графитот под него. Тоа помага да се одржи термичкото поле поконзистентно и ја намалува можноста честичките да се појават за време на растот.

Најчесто, облогата се нанесува на делови како што се сусцептори, носачи на плочки, графитни прстени или полумесечински компоненти. Сите тие се директно вклучени во загревањето или позиционирањето на плочките, па секоја мала нестабилност може да влијае на приносот. Поради таа причина, обложените делови често се третираат како потрошни материјали кои сè уште треба да бидат сигурни во текот на повеќе циклуси, особено во производство од 4 до 12 инчи.