SiC керамика

SiC керамиката се користи сè повеќе во полупроводничката опрема, главно затоа што подобро се држи во потешки услови. Кога температурата ќе се зголеми или процесот ќе стане поагресивен, материјалите како кварц или силициум можат да почнат да покажуваат граници, и тука обично влегува SiC. Во процесите на печки како што се оксидација или дифузија, деловите како пловни плочи или лопатки направени од SiC имаат тенденција да траат подолго. Тие ја задржуваат својата форма и не внесуваат многу контаминација, дури и по долги работи. Луѓето често се префрлаат од кварц поради оваа причина, особено кога одржувањето станува премногу често.

За јоргање, SiC често се избира едноставно затоа што подолго преживува во плазмата. Разликата во животниот век во споредба со силиконските делови е забележлива во многу поставувања, иако сè уште зависи од точниот процес. Исто така, малку помага при контрола на честичките, кои стануваат почувствителни како што се намалуваат јазлите. Исто така, ќе видите SiC како се користи како сусцептори во MOCVD или CVD. Во тие случаи, помалку се работи за „цврстина“, а повеќе за одржување на стабилно однесување на температурата. Надвор од тоа, се појавува во делови од комори како што се облоги или тушеви, а понекогаш и во ракувањето со компонентите.