Како CVD премазите ја намалуваат контаминацијата во процесите на полупроводничко јодирање

Во производството на полупроводници, дури и најмалата контаминација може да предизвика големи проблеми. Ова е многу точно за време на фазата на бакирање. Во овој момент, ситните честички или лошите реакции можат да го оштетат уредот. Тие исто така можат да го намалат бројот на добри производи што излегуваат. Еден начин да се намалат овие проблеми е со користењеCVD (хемиско таложење на пареа) премазиОвие премази ги штитат деловите во комората за гравирање. Тие помагаат работите да се одржат чисти, да се спречи абење и да се намалат дефектите.

Проблемот со контаминација во коморите за плазматско гравирање

Плазматското гравирање е клучен чекор во производството на чипови, но доаѓа со голем предизвик: контаминација. Гравирањето користи гасови и плазма за прецизно отстранување на материјалот. Но, овие сурови услови можат да ги оштетат и деловите на комората. Како што деловите се трошат, ситни честички или снегулки можат да се излупат и да паднат на површината на плочката. Штом тоа се случи, се формираат дефекти - и тие често е невозможно да се поправат подоцна.

Честа причина за контаминација се ѕидовите на комората или деловите што директно ја допираат плазмата. Со текот на времето, плазмата реагира со овие површини, полека ги разградува. Ова може да предизвика честички да паднат во комората или да создадат несакани хемикалии. Дури и деловите што изгледаат мазни можат да бидат груби под микроскоп, дозволувајќи честичките да се залепат или да се насобираат.

Друг проблем е вкрстената контаминација помеѓу процесите. На пример, остатоците од една плочка можат да се најдат на следната ако комората не е правилно исчистена или покриена. Ова станува поголем проблем како што се намалуваат карактеристиките на чипот. Она што некогаш беше мал дефект, сега може да блокира или да скрати критична патека во напредните јазли.

Многу фабрики се обидуваат да го решат ова со често чистење на комората или менување на деловите. Но, ова одзема време и пари. Исто така, не го решава главниот проблем - оштетувањето од плазмата. Затоа тие користат заштитни премази. Овие премази помагаат да се спречи оштетувањето пред да започне со покривање на деловите што се најмногу погодени.

CVD премази како заштитна бариера: SiC и TaC во акција

За да се спречи контаминацијата пред да започне, многу производители на чипови се обраќаат конCVD премазиТенки слоеви се додаваат на деловите од комората за да се заштитат од оштетување и хемикалии. Два од најсигурните материјали за оваа работа сесилициум карбид (SiC) тантал карбид (TaC)Тие не се само цврсти - тие се и стабилни во агресивни плазма средини.

SiC се користи бидејќи добро се справува со топлината и е отпорен на реакција со гасови. SiC обложен со CVD на деловите создава цврста површина што не се троши лесно. Дури и по многу циклуси на гравирање, тој останува мазен и чист, па затоа помалку честички паѓаат на плочките.

TaC се користи кога процесот на гравирање е уште погруб. Работи добро со силни плазми и цврсти халогени гасови. Неговата густа структура и високата точка на топење го прават особено отпорен на корозија. Во некои напредни алатки,TaC премазипомагаат да се намали контаминацијата со метал. Ова е важно за изработка на брзи логички и мемориски чипови.

Овие премази функционираат така што создаваат бариера помеѓу плазмата и делот. Ова му помага на делот да трае подолго и ја одржува комората стабилна. Исто така, им овозможува на инженерите да работат подолго без да запираат за чистење или менување на деловите.

Замислете го тоа како ставање заштитник за екран на телефонот. Тоа не го менува начинот на кој работи телефонот, но го трпи ударот за да не мора да го прави тоа вашиот екран. Слика:

Подобрени перформанси на гравирање и намалени трошоци за одржување

CVD премазиКако што се SiC и TaC, деловите се безбедни, помагаат при јорганизирањето да оди поглатко и значат дека е потребно помалку фиксирање. Кога деловите од комората остануваат во добра состојба, јорганизирањето станува поконзистентно. Ова значи дека повеќе плочки ги поминуваат проверките за квалитет, а помалку се фрлаат поради дефекти.

Стабилните услови во комората се клучни за повторувачки резултати. Без премази, деловите од комората полека се абат. Ова може да го промени протокот на гас, ширењето на топлината и однесувањето на плазмата. Овие промени може да бидат мали на почетокот, но со текот на времето можат да доведат до различни резултати. Обложените делови помагаат да се избегне ова со тоа што комората е попредвидлива од една плочка до друга.

Покрај тоа, деловите обложени со CVD траат многу подолго пред да треба да се заменат. Необложените алатки бараат повеќе паузи за чистење, што предизвикува доцнења. Обложените делови траат подолго, намалувајќи го времето на застој и дополнителната работа.

Фабриките од реалниот свет го доживеаја овој успех. На пример, еден производител на чипови користеше прстени обложени со SiC наместо обичен алуминиум и доби 40% подолго време на работа. Ова го намали времето на застој и го одржа приносот на плочките постабилен.

Тоа е јасен случај на „трошење малку повеќе однапред, заштеда многу со текот на времето“. CVD премазите ги одржуваат деловите безбедни и чисти, така што инженерите можат да се фокусираат на работата, а не на поправање работи.

Истражете ги можностите за премачкување на Semixlab за вашиот систем за гравирање

Ако сакате да извлечете максимум од вашиот систем за јоргање, помага да соработувате со некој што ги познава материјалите и процесот. Semixlab произведува CVD премази како SiC и TaC, направени за алатки за јоргање и тестирани во вистински фабрики.

Она што го прави Semixlab различен е нивната услуга по мерка. Тие можат да обложат многу форми и делови, како алуминиумски прстени или графитни носачи. Облогите се мазни, цврсти и направени да одговараат на вашите потреби. Сите работи со обложување се вршат во чисти, контролирани простории, така што не влегуваат нови нечистотии или честички.

Многу фабрики ги испраќаат користените делови за повторно премачкување, наместо целосно да ги заменат. Овој пристап не само што заштедува пари, туку помага и во намалувањето на отпадот. Semixlab го проверува секој дел за да се осигура дека е сè уште цврст. Ако помине, го чистат, го премачкуваат и го враќаат назад - подготвен за повторно користење. Ова им помага на деловите да траат подолго без да ги изгубат перформансите.

Инженерите што работат со Semixlab добиваат повеќе од само премази. Не сте сигурни кој материјал одговара на вашите гасови? Сакате да знаете колку долго трае со вашата плазма? Нивниот тим може да го тестира или да ги провери податоците за да ви помогне да изберете.

Ако сакате да пробате премачкани делови, проверете колку време и плочи губите сега. Премачкувањето би можело да ви помогне да заштедите и на двете.