Прилагоден кварцен брод со вафли

Кварцниот брод за плочка - познат и како носач на кварцни плочки, брод за жарење на кварц или држач за брод за плочка - е прецизно изработена компонента што се користи за држење и транспорт на силиконски плочки за време на различни процеси на производство на полупроводници. Тие вклучуваат оксидација, дифузија, LPCVD и жарење. Со обезбедување дека плочките остануваат порамнети и стабилни под екстремни термички услови, кварцните плочки за обработка на полупроводнички плочки се неопходни за постигнување производство на уреди со висок принос и без дефекти.

Материјални својства на кварцни пловни објекти

Во Semixlab, нашите кварцни вафли чамци по нарачка се произведуваат од високочисто стопен кварц, кој нуди одлична механичка стабилност, ниска термичка експанзија и супериорна отпорност на хемиска корозија.

Клучни физички својства на фузиран кварц:

●Чистота: > 99.99% SiO₂

● Коефициент на термичка експанзија: ~0.55 × 10⁻⁶ /°C (20–1000°C)

●Точка на омекнување: ~1665°C

● Отпорност на термички шок: Одлична, способна да издржи брзи промени на температурата

● Оптичка јасност: Висока транспарентност во UV, видливи и IR опсези

● Хемиска отпорност: Инертен на повеќето киселини и гасови што се користат во обработката на плочки

Овие својства гарантираат дека носачите на плочки со висока чистота од Semixlab го одржуваат структурниот интегритет за време на повторени циклуси на висока температура во полупроводничките фабрики.

Зошто да изберете кварцни вафли-чамци Semixlab?

Semixlab е доверлив производител и добавувач специјализиран за кварцни чамци за обработка на полупроводнички плочки. Нашата посветеност на иновации и сигурност им дава на нашите производи конкурентска предност:

● Целосна персонализација: Дизајнираме чамци од кварцни вафли по нарачка, прилагодени на специфични големини на вафли (4", 6", 8", 12") и барања за процесот.

●Стандарди за висока чистота: Користејќи ултра чист стопен кварц, нашите чамци го минимизираат загадувањето и ризикот од честички.

●Технички консултации: Нашиот инженерски тим нуди професионални упатства за избор на вистински држач за пловни објекти или дизајн на носач по мерка.

●Тестирање во екстремни услови: Секој носач на кварцни плочки се подложува на ригорозно тестирање под симулирани услови на печка пред испорака.

Доколку барате носачи на вафли со висока чистота или кварцен брод за вафли по нарачка, дизајниран да ги задоволи вашите точни спецификации за процесот, Semixlab е вашиот доверлив партнер. Контактирајте го нашиот тим за продажба и техничка поддршка за да побарате понуда или да разговарате за дизајни по нарачка.

Примени на кварцни плотни во полупроводничка обработка на плотни

Кварцните плотни се составен дел од неколку критични чекори во производството на полупроводници:

●Дифузија и оксидација: За време на овие процеси, плочките се изложени на високи температури и специфични гасови за да се создадат посакуваните електрични својства или изолациски слоеви. Кварцните чамци обезбедуваат стабилна и безконтаминација средина за плочките во печки со висока температура.

●Жарење: Како чамци за жарење на кварц, тие се користат за загревање на плочки на високи температури за поправка на оштетувањата на кристалната решетка предизвикани од имплантација на јони, активирање на допанти или ублажување на стресот. Високата чистота и термичката стабилност на кварцот обезбедуваат рамномерно загревање и спречуваат контаминација.

● Хемиско таложење на пареа (CVD): Кај CVD, тенки филмови се таложат на површините на плочката од гасна фаза. Кварцните носачи на плочката одржуваат прецизно позиционирање на плочката, што е клучно за униформна дебелина и квалитет на филмот.

●Чистење и складирање: Иако не се нивна примарна функција, кварцните чамци можат да се користат и за специфични процедури за чистење и да обезбедат безбедно, чисто складирање на плочки помеѓу чекорите на процесот. Некои дизајни може да вклучуваат и држач за плочки за полесно ракување и интеграција во автоматизирани системи.