Држач со графитна обвивка од SiC за ICP

Платформа за епитаксијална обработка на Si со повеќе плочки

Држачот за графитна обвивка Semixlab SiC за ICP е специјално дизајниран за бакирање и нанесување со индуктивно споена плазма. Користи графитна подлога со висока чистота во комбинација со процес на обложување од силициум карбид за да обезбеди одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија и отпорност на оксидација. Погоден е за сурови аналитички средини, значително го продолжува животниот век на компонентите и ги намалува трошоците за одржување. Во исто време, гарантираме строга контрола на квалитетот, прилагодени услуги и брза испорака.

Апликација:

Графитниот држач со SiC облога е клучна компонента во процесите на гавирање и таложење со полупроводничка индуктивно поврзана плазма (ICP) поради неговата висока чистота, отпорност на високи температури и одлична отпорност на плазма ерозија.

Услуги што можат да се обезбедат:

анализа на сценарија за апликација на клиент, спојување на материјали, решавање на технички проблеми.

Профил на компанијата:

Семикслаб има 2 лаборатории, тим од експерти со 20 години искуство со материјали, со можности за истражување и развој и производство, тестирање и верификација.

Технички параметри

Главни полиња за апликација

Потврда за верификација на еколошкиот синџир

Држачот за графитна обвивка од Semixlab SiC за верификација на еколошкиот ланец на ICP опфаќа суровини до производство, има положено меѓународна стандардна сертификација и има голем број патентирани технологии за да се обезбеди неговата сигурност и одржливост во полупроводничките и новите енергетски полиња.

За детални технички спецификации, бели книги или аранжмани за тестирање на примероци, ве молиме контактирајте го нашиот тим за техничка поддршка за да истражите како Semixlab може да ја подобри ефикасноста на вашиот процес.

Држач со графитна обвивка од Semixlab со SiC за предности на јадрото на ICP

Супер отпорност на корозија

Држачите од графит обложени со SiC користат процес на хемиско таложење на пареа за да формираат густ заштитен слој од силициум карбид на површината на графитот, ефикасно спротивставувајќи се на корозијата од силни киселини, бази и органски растворувачи. Во споредба со традиционалните држачи од графит или метал, овие држачи се постабилни при ракување со високо корозивни примероци, спречувајќи контаминација поради деградација на материјалот. Тие се особено погодни за ICP апликации кои вклучуваат долготрајна изложеност на корозивни медиуми.

Стабилност на висока температура

Во ICP плазма средина со висока температура, обичниот графит лесно се оксидира и аблира, но SiC облогата значително ја инхибира реакцијата помеѓу графитната подлога и кислородот. Неговата отпорност на висока температура гарантира дека држачот го одржува својот структурен интегритет под долготрајни услови на работа на висока температура, спречувајќи деградација на перформансите на инструментот поради термичка деформација или губење на материјал. Особено е погоден за потребите за континуирано тестирање на лаборатории со висок проток.

Висока механичка цврстина

SiC има тврдост блиска до онаа на дијамантот, а неговиот премаз значително ја подобрува отпорноста на абење на тврдата површина. Кај ICP, SiC премазите го намалуваат абењето на површината и ја продолжуваат прецизноста на вклопувањето на клучните компоненти, со што се одржува стабилна ефикасност на пренос на јони и се намалува фреквенцијата на замена.

Рентабилно

Во споредба со чистиот SiC или платината, графитот обложен со SiC одржува одлични перформанси, а воедно ги намалува трошоците за 30%-50%. Неговиот животен век е 3-5 пати поголем од оној на обичните држачи за графит, што значително го намалува времето на застој и потрошниот материјал. Тоа е оптимално исплатливо решение, особено за лаборатории со ограничени буџети кои бараат долгорочно стабилно работење.