EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Кварцна дифузна цевка со висока чистота
„Семикслаб“ е водечки производител на кварцни компоненти во Кина, специјализиран за дизајнирање и производство на кварцни дифузни цевки со висока чистота за процеси на оксидација, дифузија и жарење на полупроводници. Изработени од ултрачист стопен силициум диоксид (≥99.99% SiO₂) и рафинирани преку прецизно обликување и строга контрола на контаминацијата, секоја цевка обезбедува извонредна термичка стабилност и ултраниски нивоа на метални нечистотии. Со нетрпение ги очекуваме вашите понатамошни консултации.
Опис
Дифузионата цевка од кварц со висока чистота Semixlab е специјално дизајнирана за високотемпературни термички процеси во производството на полупроводници, вклучувајќи оксидација, дифузија на допанти и жарење.
Произведена од ултра-висока чистота стопен силициум диоксид (≥99.99% SiO₂), секоја цевка е дизајнирана да обезбеди исклучителна хемиска стабилност, минимална контаминација и прецизна термичка униформност - обезбедувајќи конзистентна обработка на плочки што резултира во тешки услови на чисти простории.
Без разлика дали се интегрирани во вертикални или хоризонтални дифузиони печки, кварцните цевки на Semixlab се прецизно обликувани и темелно тестирани за да ги задоволат строгите барања за производство на IC, LED, MEMS и енергетски уреди.
апликации
Примени во полупроводнички процеси
1. Термичка оксидација
Во печките за термичка оксидација, кварцните дифузни цевки дејствуваат како примарна реакциона комора каде што силициумските плочки се изложени на пареа O₂ или H₂O на покачени температури (900–1150°C).
● Обезбедува чиста и стабилна кислородна средина за рамномерен раст на SiO₂.
● Елиминира контаминација со метални јони, обезбедувајќи висок диелектричен интегритет за портата и изолационите оксиди.
Кварцната дифузна цевка со висока чистота е идеална за обработка на плочки
2. Дифузија на допант
Кварцните дифузни цевки се користат за дифузија на атоми на допант (како што се фосфор или бор) во силициумската подлога за да се создадат посакуваните профили на спојување.
● Одличната хемиска инертност спречува контаминација за време на реакциите на POCl₃ или BBr₃.
● Одржува висока чистота дури и во халогени атмосфери.
3. Процеси на жарење и вградување
По имплантацијата или таложењето на јоните, плочките се подложени на жарење на висока температура за да се активираат допантите и да се поправи оштетувањето на решетката.
● Кварцните цевки обезбедуваат термички униформна комора со ниска контаминација за стабилни и репродуктивни резултати.
● Погодно и за N₂ и за средини за жарење со гасно формирање.
4. LPCVD и термичка обработка во истражување и развој
Во мали LPCVD или истражувачки печки, кварцните дифузни цевки можат да послужат и како реактивна и како комора за задржување.
● Идеално за таложење на полисилициум, силициум нитрид и оксидни филмови.
● Обезбедува ниско формирање на честички и висока повторување низ сите циклуси.
конкурентна предност
Предности на Semixlab
1. Чистота на материјалот и следливост
Секоја кварцна цевка е направена од ултрачист стопен силициум диоксид добиен од сертифицирани добавувачи. Извештаите од анализата на ICP-MS се достапни на барање, со што се гарантира следливост на секоја серија.
2. Прецизно производство и прилагодување
Семикслаб нуди прилагодени дизајни за да ги задоволи специфичните димензии на печката, термичките профили и шемите на проток на гас што ги бараат клиентите.
Опции вклучуваат:
● Вертикални или хоризонтални конфигурации на цевки
● Прилагодени дијаметри, дебелини на ѕидовите и крајни прирабници
● Полирани или гравирани површини
● Специјални дизајни за ракување со носачи со повеќе плочи
3. Ригорозно тестирање и обезбедување квалитет
Секоја дифузиона цевка се подложува на димензионална инспекција, тестирање на интегритетот на површината и симулација на термички стрес пред испорака. Ова обезбедува компатибилност со водечките системи за дифузиони печки во индустријата, како што се TEL, Kokusai, Centrotherm и ASM.
