Полупроводнички кварцен пловен брод

Полупроводничките кварцни плочки Semixlab се клучни алатки за лежишта дизајнирани за процеси на висока температура како што се дифузија, оксидација, CVD, жарење итн., во производството на полупроводници. Направени од синтетички кварц со висока чистота со одлична отпорност на високи температури, хемиска стабилност и низок коефициент на термичка експанзија, можат стабилно да носат плочки во сурови процесни средини за да се обезбеди конзистентност на процесот и принос на производот.

Применлива опрема: Компатибилна со сите видови хоризонтални/вертикални дифузиони печки (хоризонтална/вертикална дифузиона печка), LPCVD систем и опрема за брза термичка обработка (RTP).

Обезбедување на квалитет

Строга контрола на квалитетот: откривање на истекување со 100% масена спектрометрија на хелиум (стапка на истекување <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Извештај за чистота на материјалот (ICP-MS тест) се издава за секоја серија.

Стандарди за сертификација: Во согласност со SEMI F47 спецификациите, преку сертификацијата за систем за управување со квалитет ISO 9001:2015.

Сервисен век: просечниот век на траење под нормални услови е повеќе од 2 години (во зависност од фреквенцијата на процесот и температурните услови).

Зошто да го изберете нашиот кварцен чамец?

Услуги по мерка: Прилагодена големина и конструкција според моделот на опремата (TEL, Kokusai, ASM, итн.) и барањата на процесот.

Брз одговор: Стандардното време на испорака е 3 недели, итните нарачки може да се намалат на 10 работни дена.

Глобална мрежа за услуги: Обезбедување технички совети, упатства за инсталација и поддршка за постпродажно одржување. Спецификации на материјали.

Спецификација на проектот

Синтеза на материјал Фузиран кварц

Чистота ≥99.99% SiO₂

Компатибилност со големина на плочка 8", 12" (може да се прилагоди 6" или 18")

Работна температура ≤1200°C (континуирано) / 1300°C (врв)

Коефициент на термичка експанзија (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Површинска грубост (Ra) ≤0.2μm

Стандарден капацитет 25/50/100 таблети

Применливи процесни гасови O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl, итн.

Оксидација/дифузија на висока температура: допирање на силициум (фосфор, дифузија на бор), раст на оксид на гејт.

Депозиција со тенок филм: LPCVD поликристален силициум, таложење на силициум нитрид (Si₃N₄).

Процес на жарење: жарење по јонска имплантација (RTA), легирање на метал.

Полупроводник од трета генерација: процес на епитаксија со силициум карбид (SiC), галиум нитрид (GaN).

1. Карактеристики на материјалот

Кварц со ултра висока чистота (>99.99% SiO₂): избегнува загадување со метални јони (Na+, K+, Fe³+, итн.) и ги исполнува барањата за чистота за напредни процеси (јазли <5nm).

Отпорност на висока температура: континуирана работна температура од 1200°C, моментална отпорност на температура од 1300°C, без ризик од деформација или кристализација.

Хемиска инертност: Издржлив на процесни гасови како што се HCl, H₂, O₂, SiH₄ и кисели/алкални средини. Некорозивен при долготрајна употреба.

2. Прецизен дизајн

Оптимизирајте ја структурата:

Точноста на растојанието помеѓу слотови е ±0.05 mm, што обезбедува прецизно позиционирање на плочките (8/12 инчи) и спречува гребнатини или поместување.

Дизајн отпорен на термички шокови, се прилагодува на брзо зголемување и опаѓање (стапка на загревање ≤20°C/мин).

Ниско формирање на честички: Површината е ултрапрецизно полирана (Ra ≤0.2μm) за да се намали приврзувањето и паѓањето на честичките.

3. Разновидна конфигурација

Капацитет опционален: Поддржува 25 парчиња, 50 парчиња, 100 парчиња и други стандардни спецификации, исто така може да се прилагоди по нестандарден број на слот.

Адаптација на тип: Отворен чамец, Затворен чамец или специјален тип на чамец (како што е дизајн на канал за пренасочување на дното на чамецот).

П1: Можете ли да обезбедите нестандардна големина или посебен дизајн?

A1: Semixlab поддржува услуги по нарачка, вклучувајќи прилагодување на големината, горна граница на температурата (потребна е надградба на материјалот) или тип на интерфејс. Ве молиме контактирајте го техничкиот тим на Semixlab за специфични барања.

П2: Колку долго е времето на испорака?

A2: Времето на испорака за стандардни производи е 4-6 недели, а времето за дизајн и верификација за производи по нарачка е 2-3 недели.

П3: Дали обезбедувате постпродажна техничка поддршка?

A3: Да, нудиме доживотни технички консултации и услуги за итен одговор. Во случај на проблеми со инсталацијата или употребата, тимот за поддршка може да се контактира во секое време преку е-пошта или телефон.

П4: Дали производот ги исполнува стандардите за полупроводничка индустрија?

A4: Да, процесот на производство е во согласност со SEMI стандардите и е сертифициран според системот за управување со квалитет ISO 9001. Секоја серија се тестира за непропустливост на воздух, отпорност на температура и чистота пред да ја напушти фабриката.