Силициумска карбидна цевка за печка

Семикслаб обезбедува систем на цевки за печки од SiC со ултра висока чистота, решенија за термичко поле од полупроводнички квалитет со чистота на облогата од 99.9999% и комплетна испорака на линијата.

Предлог за основна вредност

Обезбедете термичка средина без нула загадување за производство на плочки: 99.9% чистота на SiC на подлогата + 99.9999% чистота на CVD облогата, во комбинација со комплетен систем од SiC конзолни лопатки и чамци со плочки, за да се постигне нула загадување на металите во процесната комора.

Различни имиња за производи:

Цевка за печка од SiC со висока температура; цевка од силициум карбид; цевка од SiC со висока чистота; цевка од силициум карбид за дифузна печка; цевка од силициум карбид за дифузија и LPCVD процес; цевка од SiC за RTP, цевка од SiC за оксидација

Основни спецификации:

Чистота на материјалот: Основниот материјал е силициум карбид со чистота од над 99.9%, а чистотата по CVD обложување е над 99.9999% (6N степен).

Термички перформанси: Максимална работна температура 1650℃ (долгорочна), коефициент на термичка експанзија: 4.6×10⁻⁶/℃, униформност во зоната на константна температура: ±1.5℃ (1200℃);

Механичка цврстина: Јачина на свиткување 450Mpa (на собна температура).

Главни употреби

Носач на термичко поле

Воспоставете стабилно и униформно температурно поле во опсег од 1200℃ до 1650℃ (температурната разлика во зоната на константна температура е ≤±1.5℃)

Обезбедете ги термодинамичките услови на процесите како што се дифузија, оксидација и жарење.

Изолациона бариера за загадување

Блокирајте ја дифузијата на метални јони (како што се Fe/Ni/Cu, итн.) преку материјали со висока чистота (како што е SiC).

Спречете вкрстена контаминација помеѓу процесните гасови и надворешната средина.

Процесен гасен канал

Прецизно контролирајте ја насоката на проток и дистрибуцијата на реакциските гасови (како што се O₂/N₂/SiH₄, итн.)

Постигнете униформни гасно-фазни реакции на површината на плочката (како што е раст на SiO₂).

Фотоволтаичен премаз: Поддржува транспорт на плочка од TOPCon/HJT ќелија PECVD процес.

Примена сценарија

● Епитаксија

● Оксидација/Дифузија

● Процес на LPCVD/PECVD

● Жарење на III-V сложени полупроводници

Решенија за болните точки во индустријата

Нашите решенија ги решаваат проблемите на нашите клиенти:

1. Контаминација на честички од процесот на висока температура: 6N премазот ги блокира таложењето на нечистотиите.

Честата замена на SiC во кварцните компоненти ја зголемува отпорноста на корозија за 8 пати.

2. Дизајн на конзистентност на CTE за несовпаѓање на термичката експанзија на компонентите на термичкото поле во целата серија на SiC материјали.

3. Ултра-полирана површинска обработка на метална контаминација на задната страна од плочката (Ra 0.2μm).

Основни предности на техничките спецификации на компонентите:

1. SiC цевка за печка - Чистота на основниот материјал: 99.9% синтеруван силициум карбид

▶ Отпорноста на термички шок е зголемена за 3 пати (брзо ладење > 1600℃)

Коефициентот на топлинска експанзија е само 4.6×10⁻⁶/℃

Наноразмерно обложување - CVD таложење на SiC со висока чистота од 6N степен (99.9999%)

▶ Блокирање на дифузијата на метали како што се Fe и Ni

▶ Рапавост на површината Ra < 0.5μm

2. SiC плочка од плочка - Компатибилен со 12-инчни плочки

- Дизајн со повеќеслојна носивост

▶ 100% термичко усогласување со цевки од печка

Стапката на контаминација на плочката е помала од 0.01 ppb

3. Конзолен систем на лопатки - изостатична графитна подлога + SiC облога

- Точност на автоматско порамнување ±0.1 mm

▶ Животен век на отпорност на лазење > 100,000 пати

Вибрациите на преносот се помали од 5μm

Револуционерни технолошки достигнувања

Револуцијата на чистотата

Двостепенски систем за заштита

Основниот слој е 99.9% SiC → за изградба на рамка со висока цврстина

CVD-SiC на ниво 6N во функционалниот слој формира запечатен слој на атомско ниво.
бариера

Контрола на нечистотии: Na/K < 0.1 ppm, тешки метали < 5 ppb, ги исполнува барањата за процеси под 28 nm

Предност на системската синергија

● Униформност на термичкото поле: Троен дизајн на термичко спојување на цевката на печката + пловниот чамец + сечилото на лопатката, температурната разлика во зоната на константна температура (> 1200℃) е ≤±1.5℃

● Удвојување на животниот век: Целото решение го продолжува животниот век за 40% во споредба со хибридниот систем, при што MTBA надминува 8,000 часа