Кварцни делови

Кварцот е сè уште насекаде во обработката на полупроводници. Не е нов, но е сигурен и повеќето фабрики се запознаени со неговото однесување. Доколку чистотата е контролирана, тој добро функционира во чекорите на дифузија, оксидација и чистење.

Многу кварцни делови одат во системи за печки или PECVD алатки. Главното очекување е стабилност - не мора да значи долг век на траење, туку предвидливи перформанси. Тоа е обично доволно добро за многу стандардни процеси.

Секако, кварцот има свои ограничувања. Може да се истроши побрзо во одредени услови, особено во споредба со SiC. Но, бидејќи е релативно лесен за набавка и не е премногу скап, луѓето сè уште го користат доста често.